非接触搬送路における非接触ガイド(1/3)
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研究目的
現在,液晶ディスプレイの大型化が進んでおり,使用されるガラス基板も大型化しています.
ガラス基板は大きなもので1辺あたり2m以上のものもあります.しかし,厚さは1mm以下と大変薄く,デリケートなものとなっています.
そのため,ローラやパレットなどを用いた,ガラス基板と接触する搬送方法では,破損の可能性があります.
さらに,ガラス基板には汚れや細かな傷はあってはなりません.そのため,本研究室では,非接触の搬送機構の開発を行っています.
これまで開発した非接触搬送路では,搬送路の両側に搬送基板脱落防止用のガイドレールが取り付けられていました(図1).
図1
ガイドレールは接触式のため接触(衝突)により,搬送品の破損や,搬送速度の不安定性などが懸念されていました.
そこで本研究では,非接触ガイドユニットの開発を行います.
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