非接触搬送路における非接触ガイド（2/3）

原理

搬送品は静圧テーブルで非接触支持されています．その上部に搬送力を与えるステータユニットと，搬送路上に基板を保持するガイドユニットを配置しています．ここではガイドユニットについて説明します．
ガイドユニットは下の図2のように振動してます．

 図2

振動板は位置により振動振幅が異なるため，振動エネルギに差が出ます(図3)．このエネルギ勾配にそって音響粘性流が発生します．

(a)　　(b)

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　図3

図3(a)のような状況では，音響粘性流による力はつりあっています．ここで，図3(b)のように搬送品の位置がずれた場合，力のバランスが崩れ，ずれの方向と逆の方向に力が発生します．
このような原理で，搬送路上に搬送品を保持します．

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