非接触搬送路における非接触ガイド（3/3）

実験装置及び実験結果

 実際に試作した装置は図4のような構成となっています．発振源には大きな振幅を得ることができるボルト締めランジュバン振動子(BLT)を使用し，振動振幅を拡大するホーンを通して，振動板に振動を伝えます．このガイドユニットを搬送品の両側に配置し，搬送品を搬送路上に保持します(図5)．

図4　　　　　　　　図5

その時の保持力を図6のような方法で測定します．搬送品が搬送路上から脱落したときの負荷荷重を保持力としました(図7)．搬送品は□150×t0.3，質量16.5gの多結晶シリコンウエハです．
ガイドユニットと搬送品のすき間が小さいほど大きな保持力が得られることがわかります．また，振動振幅は大きいほど保持力が大きいことがわかります．

図6　　　　　図7

また，搬送品に一定のずれ(1.35mm)を与えたときの応答性を測定しました(図8)．
その際，減衰比0.062，固有角振動数4.3s^-1でした．また，制定時間は11.5秒程度でした．

図8

保持の様子の動画はこちらから(wmv形式　約30秒 ファイルサイズ495kB)

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