3-2.ランジュバン型振動子を用いた高周波発生器

積層型振動子は，静電容量の大きい積層型圧電素子を使用しているため，駆動電源は専用の
ものが必要である．また，電源容量の関係からそれほど大きな振幅を得ることも困難である．
そのため，静電容量が小さく，駆動振幅も大きいランジュバン型振動子を用いた振動装置
(以下，ランジュバン型振動子)を開発した．ランジュバン型振動子の構造を以下に示す．




ランジュバン振動子の振幅が節となる部分でランジュバン振動子を固定してあり，また
内部に油が入り込まない構造としている．また，この他にアルミ製の振幅増大ホーン
を取り付け，振幅を増幅させている．また，この振動素子の静電容量は小さいため，
駆動電源は，一般の変圧器とアンプを用いている．
この振動子の加工部分での振幅データを以下に示す．

駆動周波数	11.1kHz
駆動片振幅	0.7μm
最大振動速度	2.93m/sec

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